Open Access

Im Rahmen der Diplomarbeit wurde ein neues System zur Kontrolle der Bestückung von Leiterplatten konzipiert und gebaut. Dieses System kann in der laufenden Produktion automatisch die entsprechenden Testprogramme durchführen und Messabweichungen zuverlässig anzeigen. Zu Beginn der Arbeit werden durchgeführte Recherchen bezüglich geeigneter Messmethoden zusammengefasst und ausgewertet. Das Konzept der daraufhin entwickelten Applikation, eine Kombination aus Lasertriangulation und Bildverarbeitung bildet den Hauptteil. Der Gesamtaufbau, inklusive der verwendeten Peripheriegeräte wird vorgestellt und erläutert. Anschließend wird auf die Grundlagen der Lasertriangulation eingegangen und der prinzipielle Ablauf der Messungen vorgestellt. Dabei wird auf die wichtigsten Aspekte wie Systemkalibrierung, deren Überprüfung und die möglichen Messvarianten gesondert eingegangen. Beispiele zur derzeitigen Anwendung der Messvarianten an Bauteilen verknüpfen die Theorie mit der Praxis. Auch die Oberfläche und Handhabung des speziell für die Applikation entwickelten Betriebsprogramms wird kurz erläutert.

Die immer höheren Anforderungen an die Schichtdickenhomogenität bei der Herstellung mikrotechnologischer Bauelemente sind mit herkömmlichen Poliermethoden, wie z.B. CMP, kaum noch zu erfüllen. Die in dieser Arbeit untersuchte Poliermethode, genannt Ion Trimming, ist ein Verfahren zur lokalen Schichtdickenkorrektur mittels verweilzeitgesteuertem Ionenstrahlätzen mit hoher Präzision. Ziel ist es, die Prozessstabilität und die Bearbeitungsgenauigkeit zu untersuchen und dabei die Fehlerursachen zu identifizieren. Zu Beginn werden die Grundlagen der Ionenstrahltechnik dargestellt. Der Trimming-Prozess und die Ionenstrahlpolieranlage IonScan 800 der Roth & Rau AG werden in ihren einzelnen Bestandteilen erläutert. Die Wafertemperatur, die im Prozess erreicht wird, ist eine kritische Größe. Sie wird theoretisch und experimentell untersucht, mit dem Ergebnis, dass diese durch Einsatz einer Heliumrückseitenkühlung beherrschbar ist. Die Form des Ionenstrahls begrenzt die erreichbare Ortsauflösung und somit die realisierbare Bearbeitungsgenauigkeit. Durch Einsatz verschiedener Gittersysteme wird gezeigt, dass verschiedene Ionenstrahlbreiten erreicht werden können. Der Einfluss verschiedener Strahlprofile auf das Bearbeitungsergebnis wird durch eine Prozesssimulation dargestellt. Des Weiteren wird die erreichbare Positioniergenauigkeit, die auch auflösungsbegrenzend ist, untersucht. Die erzielbare Bearbeitungsgenauigkeit wird zudem durch die Quellenstabilität, die Genauigkeit der Kalibrierung und durch die Ätzratenhomogenität über den Wafer bestimmt. Diese Punkte werden experimentell untersucht, wobei mögliche Fehlerursachen genannt werden. Alle Fehlerquellen zusammen ergeben schließlich einen Gesamtfehler, der aus den Einzelfehlern abgeschätzt werden kann.

Bestimmung lokaler Albeden natürlicher und künstlicher Oberflächen und Ableitung einer regionaler Albedo für die Oberfläche "Stadt"

Mit der Customer Content Technologie lassen sich vorgefertigte Informtionsmodelle für das SAP BW ausliefern. Dabei können lokale Anforderungen des Kunden berücksichtigt und Änderungen und Anpassungen vorgenommen werden. Die Untersuchung der Einsatzmöglichkeiten der Customer Content Technologie für die geschäftsbereichsspezifische Anpassung ist Schwerpunkt der Diplomarbeit. Dabei werden der Lebenszyklus einer Data Warehouse Anwendung betrachet und auf Probleme bei der Weiterentwicklung hingewiesen. Die Thematik wird dabei in das Umfeld Business Intelligence eingeordnet.

Die hohen Kosten im Gesundheitswesen stammen zu einem großen Teil aus der uneffektiven Kommunikation zwischen den am Gesundheitswesen beteiligten Einrichtungen. Mit der integrierten Versorgung sollen diese Probleme behoben werden. Hauptbestandteil ist es, den Großteil der existierenden Dokumente in elektronischer Form verfügbar zu machen. Somit können auch die Abläufe im Gesundheitswesen optimiert werden. Inhalt dieser Diplomarbeit ist ein so genannter Portalserver. Er ist in der Lage, die anfallenden elektronischen Dokumente bereitzustellen und somit verfügbar zu machen. Ein Beispiel: Ein Arzt in einem Krankenhaus entlässt einen Patienten. Die zu diesem Fall gehörenden Daten werden auf dem Portalserver bereitgestellt. Wenn sich der Patient dann bei seinem Hausarzt meldet, kann der Arzt die Dokumente vom Portalserver abrufen und hat somit den Gesamtüberblick zu diesem Fall. Natürlich können auch fallübergreifende Informationen mit allen Fällen des Patienten zur Verfügung gestellt werden, wie etwa eine elektronische Patientenakte. Natürlich darf nicht jeder diese medizinischen Daten einsehen. Der Zugriff wird über die elektronische Gesundheitskarte des Patienten und den Heilberufeausweis des Arztes realisiert und gesichert. Angestoßen wurde diese Reform des Gesundheitswesens mit dem §291a SGB V. In diesem sind die Anforderungen zu den eben genannten Karten aufgeführt. Die Umsetzung der notwendigen Architektur ist in der Lösungsarchitektur spezifiziert. Sie wurde von der bIT4health entwickelt. Die Organisation die das Fortschreiten der Entwicklung vorantreibt und überwacht ist die gematik. In der Diplomarbeit wurden nun der Paragraph und die Lösungsarchitektur analysiert und aus diesen Spezifikationen wurde ein Anforderungskatalog für den Portalserver entwickelt. Anschließend wurde eine Marktanalyse durchgeführt. Danach wurde das optimale Produkt ausgewählt und die Integration des gewählten Produktes in eine vorhandene Systemarchitektur eines Klinikums beschrieben.