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In der hier vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess zum Reaktiven Ionenätzen von Polyimid vorgestellt. Auf Grundlage eines statistischen Versuchsplanes (DoE) konnten die Haupteinflussgrößen auf den Ätzprozess charakterisiert werden. Im Weiteren wurde der Einfluss von polymerbildenden Gasen auf die Ätzrate und den Böschungswinkel untersucht. Zur Bestimmung der an den Prozess angepassten Parameter, wurden die einzelnen Einflussgrößen, wie Plasmaleistung, Druck, Magnetfeld und Gasfluss variiert um die optimalen Einstellungen zu ermitteln. Es wurden bestimmte anlagentechnische Grenzen ermittelt. Ebenso wurden Möglichkeiten zur weiteren Optimierung des Prozesses aufgezeigt.
