Open Access

Ein Unternehmen, egal welcher Größe, ist heutzutage nicht mehr in der Lage ohne den Einsatz von IT-Komponenten seine Ziele zu erreichen. Diese Diplomarbeit beschreibt zum einen die theoretischen Prozesse der Störungsbehebung wie sie innerhalb der ITIL Elemente Incident Management und Problem Management beschrieben werden und zum anderen, wie diese innerhalb eines mittelständigen Krankenhauses, am Beispiel des DRK Krankenhaus Chemnitz-Rabenstein, umgesetzt werden können. Weiterhin werden die aktuell im DRK Krankenhaus bestehenden Prozesse zur Störungsbehebung beschrieben und grafisch dargestellt. Ziel dieser Arbeit ist es, ein Soll-Konzept für die zukünftige Störungsbehebung zu erstellen und dieses als Grundlage für einen Entwurf einer Service Desk Applikation einzusetzen. Dieser Entwurf ist daraufhin zu implementieren. Weiterhin wird die Planung für die Einführung des Service Desks sowohl für Anwender, als auch für IT-Mitarbeiter beschrieben.

In der vorliegenden Arbeit wird speziell die Abscheidung von Siliziumoxid- und Siliziumnitridschichten an einer neu entwickelten Forschungsanlage der Roth & Rau AG untersucht. Das Hauptaugenmerk liegt dabei auf Abscheidung von defektfreien und intrinsisch dichten PECVD - Barriereschichten (PECVD - Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). Die neuartige Versuchsanlage bietet hierfür erstmalig die Untersuchungsmöglichkeit zur Schichtabscheidung mit drei unterschiedlichen Plasmaquellenkonzepten, die bereits in industriellen Beschichtungsanlagen erfolgreich eingesetzt werden und somit eine schnelle technische Umsetzung, sowie die Skalierbarkeit zur großflächigen Beschichtung gewährleisten.

Untersuchungen zur Ver- und Umesterung stark fettsäurehaltiger Feedstocks mittels sauer-katalysierter Verfahren

Diese Arbeit beschäftigt sich mit dem Thema Mediacenter. Sie enthält neue Sichtweisen und Konzepte für die Erstellung von Mediacenterprogrammen, auf deren Basis funktional umfangreiche, aber dennoch benutzerfreundliche Mediacenter realisiert werden können. Es werden Ansätze und Regeln für die Gestaltung von grafischen Oberflächen für Mediacenter beschrieben sowie Ansätze und Möglichkeiten für die Vernetzung aufgezeigt. Auf der beiliegenden CD ist der Code einer Beispielimplementierung für Java zu finden, welche darauf basiert.

In dieser Diplomarbeit wird das anfängliche Wachstum von Wolfram- und Wolframnitridschichten auf Silizium untersucht. Von besonderem Interesse ist dabei die Ausbildung der Grenzfläche zwischen Schicht und Substrat. Die Analysen konzentrieren sich auf Schichtdicken von weniger als einer Monolage bis hin zu wenigen Nanometern Dicke. Die Schichten wurden mit dem Verfahren der Magnetronzerstäubung in Ar oder N2/Ar Atmosphäre abgeschieden. Die anschließende Charakterisierung der Schichten erfolgte ohne Vakuumunterbrechung mit dem oberflächenanalytischen Verfahren der Photoelektronenspektroskopie (XPS) hinsichtlich der Bindungszustände und Konzentrationsverhältnisse. Mit winkelaufgelöster Photoelektronenspektroskopie (ARXPS) wurden Tiefenprofile zerstörungsfrei ermittelt und daraus Wachstumsmodelle für die untersuchten Schichtsysteme abgeleitet. Dünne Wolframschichten wurden zusätzlich mit Rastertunnelmikroskopie (STM) und Rastertunnelspektroskopie (STS) charakterisiert. Die Zusammensetzung und Bindungsverhältnisse in Abhängigkeit der N2/Ar Masseflussverhältnisse bei reaktiver Abscheidung von Wolframnitrid wurden in Vorversuchen studiert. Weiterhin wird die Restgasadsorption unter Ultrahochvakuumbedingungen an den wolframbasierten Schichten und deren Einfluss auf die XPS-Analysen diskutiert. Die Beschichtungsraten wurden mit verschiedenen Methoden bestimmt und verglichen.