Untersuchung der Leistungsfähigkeit, Funktionalität und Anwendungsmöglichkeiten von unterschiedlichen Detektoren des Rasterelektronenmikroskops TESCAN CLARA anhand verschiedener Proben
- Die Arbeit untersucht die Leistungsfähigkeit und die Anwendungsmöglichkeiten des Feldemissionsrasterelektronenmikroskops CLARA von Tescan an der Westsächsischen Hochschule Zwickau. Ziel war die systematische Evaluierung der Detektoren und Abbildungsmodi sowie die Ermittlung geeigneter Parameter zur optimalen Abbildung ausgewählter Proben.
Untersucht wurden Sekundärelektronendetektoren und Rückstreuelektronendetektoren. Zudem wurden die hochauflösende Sekundärelektronenabbildung und ein Detektor für transmittierte Elektronen getestet.
Als Proben dienten ein eingebetteter Siliziumchip, Berliner Blau, ein Hochauflösungstestobjekt mit Goldteilchen auf Kohle sowie ein Trägerfilm auf einem TEM-Gitter. Die Arbeit zeigt, wie mit dem Feldemissionsrasterelektronenmikroskop CLARA die Topografie und Zusammensetzung verschiedener Proben analysiert werden kann und welche proben- und gerätespezifischen Grenzen dabei auftreten.
- This work investigates the performance and application potential of the field emission scanning electron microscope CLARA by Tescan at the University of Applied Sciences in Zwickau. The objective was the systematic evaluation of the detectors and imaging modes, as well as the determination of suitable parameters for the optimal imaging of selected specimens.
Secondary electron detectors and backscattered electron detectors were examined. In addition, high-resolution secondary electron imaging and a detector for transmitted electrons were tested.
The samples were an embedded silicon chip, Prussian Blue, a high-resolution test specimen with gold particles on carbon, and a thin section on a TEM grid. The work demonstrates how the field emission scanning electron microscope can be used to analyze the topography and composition of various samples and identifies the sample- and instrument- specific limitations that arise.
