@mastersthesis{Oeser2026,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Oeser, Antonia},
  title     = {Untersuchung der Leistungsf{\"a}higkeit, Funktionalit{\"a}t und Anwendungsm{\"o}glichkeiten von unterschiedlichen Detektoren des Rasterelektronenmikroskops TESCAN CLARA anhand verschiedener Proben},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  pages     = {91},
  year      = {2026},
  abstract  = {Die Arbeit untersucht die Leistungsf{\"a}higkeit und die Anwendungsm{\"o}glichkeiten des Feldemissionsrasterelektronenmikroskops CLARA von Tescan an der Wests{\"a}chsischen Hochschule Zwickau. Ziel war die systematische Evaluierung der Detektoren und Abbildungsmodi sowie die Ermittlung geeigneter Parameter zur optimalen Abbildung ausgew{\"a}hlter Proben. Untersucht wurden Sekund{\"a}relektronendetektoren und R{\"u}ckstreuelektronendetektoren. Zudem wurden die hochaufl{\"o}sende Sekund{\"a}relektronenabbildung und ein Detektor f{\"u}r transmittierte Elektronen getestet. Als Proben dienten ein eingebetteter Siliziumchip, Berliner Blau, ein Hochaufl{\"o}sungstestobjekt mit Goldteilchen auf Kohle sowie ein Tr{\"a}gerfilm auf einem TEM-Gitter. Die Arbeit zeigt, wie mit dem Feldemissionsrasterelektronenmikroskop CLARA die Topografie und Zusammensetzung verschiedener Proben analysiert werden kann und welche proben- und ger{\"a}tespezifischen Grenzen dabei auftreten.},
  language  = {de}
}