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Inhalt dieser Arbeit ist die Untersuchung, ob eine Plasmaquelle hinreichend modifiziert werden kann, um epitaktisch abgeschiedene Siliziumcarbidschichten mit Stickstoff zu dotieren. Schwerpunkt der Arbeit war die Konzeption, Installation und die Optimierung des Gasversorgungssystems, die Inbetriebnahme der Plasmaquelle und die spektroskopische Untersuchung der Plasmazusammensetzung. Die spektroskopische Untersuchung des Plasmas zielte darauf ab, die Konzentration an atomaren Stickstoff im Entladungsraum durch kombinierte Variation von eingekoppelter RF-Leistung und Gasfluss zu optimieren. In den Emissionsspektren wurden die auftretenden Emissionslinien charakterisiert und den Linien der entsprechenden Stickstoffteilchen zugeordnet. Bei der Realisierung der Gasversorgung stand die Bestimmung der Leitwerte im Vordergrung. Es konnte gezeigt werden, dass sich die verschiedenen Druckstufen durch die einzelnen Bauelemente beeinflussen lassen. Dies ist von Bedeutung für die Realisierung einer notwendigen hohen Druckdifferenz zwischen Plasmaraum und Wachstumskammer.
Ziel dieser Arbeit war es, die Eignung sondenmikroskopischer Verfahren zur Charakterisierung von Einkristallspaltflächen unter ambienten Bedingungen zu untersuchen. Dazu wurden Messungen mit Rastertunnelmikroskopie (STM), Rasterkraftmikroskopie (AFM) und Rastertunnelspektroskopie (STS) an Galenit- und Zink-Einkristallspaltflächen unter ambienten Bedingungen (in Luft) durchgeführt, dokumentiert und diskutiert; außerdem wurde auf mögliche Fehlereinflüsse hingewiesen. Zur Ermittlung voon Stabilität und Fehlergröße des Rastertunnel- und Rasterkraftmikroskopes wurden ebenfalls Messungen vorgenommen und mögliche Ursachen der Meßfehler und Instabilitäten aufgezeigt. Weiterhin wurden noch Messungen an Referenzproben durchgeführt, um die erreichbare Auflösung der eingesetzten Mikroskope festzustellen und Vergleiche der Meßergebnisse mit Angaben aus der Literatur vorzunehmen.
Die Anwendung des Lasers in der Medizin als therapeutisches und diagnostisches Instrument, hat sich in den letzten Jahren stark verbreitet. Wenn Laserstrahlung auf Gewebe einwirkt, hängt die Art der Wechselwirkung von den optischen Eigenschaften des Gewebes (Streukoeffizient, Absorptionskoeffrzient, Dichte etc.) und von den physikalischen Parametern des Laserlichtes (Wellenlänge, Energiedichte, Wiederholrate, Bestrahlungsdauer und Spotgröße) ab. Photonen können im Gewebe sofort absorbiert werden, ohne getreut worden zu sein oder erst, nachdem sie Mehrfachstreuung an Gewebeinhomogenitäten erfahren haben. In beiden Fällen kommt es zur Energieübertragung, die eine Erhöhung der Gewebetemperatur nach sich zieht. Ziel ist es, den patentierten Laser nach FREDDY-Technologie auch im Indikationsgebiet der Dermatologie vorteilhaft einsetzen zu können. Somit soll ein abgewandelter Laser derselben Bauart dazu genutzt werden. Theoretische Betrachtungen und experimentelle Untersuchungen sollen die wissenschaftlichen Grundlagen für das neue potentielle Anwendungsgebiet liefern. Optimale Laserstrahldaten und Applikationsgeometrien sind zu ermitteln und die Wirkmechanismender Wechselwirkungsprozesse der Laserstrahlung mit dem biologischen Gewebe sind zu diskutieren.
Der Einfluss der Gasatmosphäre auf die Schichteigenschaften bei ungefiltertem und gefiltertem Laser-Arc-Verfahren wird untersucht. Die Edelgase Argon und Helium haben keinen Einfluss auf die Schichteigenschaften. Die Reaktivgase Stickstoff, Ammoniak und Tetrafluormethan führen zu wesentlich weicheren Schichten mit einem höheren sp²-Anteil. Der Einfluss der Ionenstromparameter auf die Schichteigenschaften beim gefiltertem Laser-Arc wurde untersucht. Höhere Bogenströme führen zu einer besseren Anregung des Gases und damit zu einen effektiveren Einbau. Eine Änderung der Filterspannung führt zu großen Änderungen der Schichteigenschaften. Mit steigender Filterspannung nimmt der Elastizitätsmodul zu. Die größten Schichtdicken werden bei kleinen Bogenströmen, niedrigen Frequenzen und hohen Filterspannung erreicht. Zwischen Elastizitätsmodul und Extinktionskoeffizient besteht ein linearer Zusammenhang. Der Proportionalitätsfaktor ist unabhängig vom verwendeten Gas, den Prozessparametern und den verwendeten Laser-Arc-Verfahren. Die Wellenlängenabhängigkeit der Brechzahl ändert sich ebenfalls mit dem Druck der Reaktivgase: Bei niedrigen Drücken und damit hohen sp³-Anteilen fällt die Brechzahl mit der Wellenlänge. Bei hohen Drücken und damit hohen sp²-Anteilen steigt dagegen die Brechzahl mit der Wellenlänge. Dieser Effekt ist deutlich bei den gefiltert unter Reaktivgasatmosphäre abgeschiedenen Schichten zu beobachten.
Das Ziel dieser Arbeit war es, das leitfähige Polymer Polyanilin auf seine Strukturierbarkeit hin zu untersuchen. Es wurden zwei Strukturierungsverfahren angewandt: eine photochemische und eine photolithographische Methode. Es konnten leitfähige Bereiche in einer isolierenden Schicht erzeugt werden. Die kleinsten erzielten Strukturbreiten lagen im Bereich von 20 µm bei einem Abstand von 10 µm. Die erzeugten Strukturen sind geeignet, um in vollorganischen Transistoren als Source-Drain-Elektroden eingesetzt zu werden.
Aufbau und Funktionsnachweis einer Einrichtung zur Bestimmung der Arbeitsebene beim Laserbeschriften
(2000)
Behandelt wird die Abstandsdiagnostik beim Laserbeschriften. Es wird eine Methode vorgestellt, die durch Messung der rückgestreuten Nd:Yag-Strahlung vom Material eine Grobnäherung, durch Messung der Temperaturstrahlung eine Feinnäherung an das Werkstück ermöglicht. Ergänzt wird das ganze durch einen Überblick bereits existierender Verfahren.
Die vorliegende Arbeit befaßt sich mit der Problematik der Mikrowellentechnik in der medizinischen Diagnostik. In dieer wird zuerst ein allgemeiner Überblick über bereits vorhandene Mikrowellendiagnoseverfahren gegeben. Im speziellen wurde dabei ein 'Versuchssensor' auf Basis der Leitungskopplung/Richtkopplung entwickelt, mit dem die Eignung des Leitungsansatzes für diagnostische/sensorische Zwecke untersucht wurde. Das Hauptziel bestand darin, grundlegende Aussagen über dieses Verfahren zu gewinnen. Die Messungen mit dem 'Versuchssensor' eerfolgten dabei unter verschiedenen Kriterien. So wurden z. B. homogene und inhomogene Medien untersucht oder Konzentrationen von Lösungen variiert, um zukünftige Anwendungsmöglichkeiten der Leitungskopplung in der Diagnostik zu analysieren.
Die Fehleranalyse stellt für jedes Produkt und jeden Herstellungsprozeß einen wichtigen Arbeitsschritt besonders während dessen Entwicklung dar. Selbst technisch ausgereifte Produkte unterliegen ständigen Qualitätskontrollen. In der Halbleiterindustrie beschränkt sich diese auf das Prüfen der Funktionstüchtigkeit der Halbleiterbauelemente. Stellt man Fehlfunktionen fest, so müssen Ursachen dafür gefunden werden, um den Herstellungsprozeß gezielt optimieren zu können. Bei einer Fehleranalyse an mikroelektronischen Bauelementen ist nicht nur der Fehler selbst von Interesse, sondern es muß auch eine möglichst genaueZuordnung der Fehlerstellen erfolgen. Dabei ist es notwendig vor der eigentlichen Ursachensuche, die Fehler, zu lokalisieren. In der vorliegenden Arbeit wird das Verfahren der Fehlerlokalisierung mittels temperaturabhängiger Fluoreszenzanalyse (Fluorescent Microthermal Imaging, FMI) angewandt und charakterisiert. An die Lokalisierung der Fehler schließt sich eine Analyse mittels Transmissionselektronenmikroskopie an, die Defekte an den lokalisierten Punkten bestätigt. Weiterhin wird auf die Vorbereitung der Fluoreszenzanalyse eingegangen, die ein breites Feld an angewandter Technik nach sich zieht. Entstanden ist ein Analyseverfahren, bei dem mit einer hohen lateralen Auflösung Defektstellen lokalisiertwerden können, um die anschließenden Untersuchungen weitestgehend zu vereinfachen.
Die Diplomarbeit befasst sich mit der Frage, ob durch Vorbehandlung der Elektroden die Aufenthaltsdauer der Probenehmer an den Meßstellen ohne einen Qualitätsverlust verkürzt werden kann. Aus der Theorie und den Gegebenheiten vor Ort wurden verschiedene Möglichkeiten abgeleitet, welche durch Versuche auf Praxistauglichkeit untersucht wurden.
Untersuchungen zur Erfassung des Kapillarpulses im Rahmen der vegetativen Funktionsdiagnostik
(2000)
In Rahmen dieser Diplomarbeit soll die Photoplethysmographie auf ihre Einsetzbarkeit und Eignung im Rahmen der Kapillarpulsmessung untersucht werden. Der bisherige Entwicklungsverlauf der Photoplethysmographie wird anhand einer Literaturrecherche dokumentiert. Die Schaltung bezüglich des Energieverbrauches zu optimieren. Desweiteren erfolgten Untersuchungen zum Einsatz des optoelektronischen Wandlers. Anschließend wurde die Anwendung am Probanden geprüft und Bedingungen aufgestellt, unter welchen die klinische Ableitung erfolgen kann.
