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Ziel der Diplomarbeit war die Optimierung von Plasmaätzverfahren (Reactive Ion Etching und Plasmaätzen mit Inertgas) an verschiedenen Sustratmaterialien und verschiedenen Substratgrößen, um einen gleichmäßigen Ätzabtrag zu erreichen. Die Untersuchungen erfolgten an einer ECR-RIE-Anlage die insbesondere auf die Anforderungen im Forschungs- und Entwicklungsbereich auf dem Gebiet der Mikrostrukturtechnik zugeschnitten ist. Da im industriellen Einsatz immer größere Wafer Verwendung finden, steigt auch der Anspruch an Forschungsanlagen bezüglich der Substratgröße, so daß eine Optimierung auf Substratgrößen bis 6'erfolgte. Die vorliegende Arbeit soll außerdem die vielfältigen Variationsmöglichkeiten der unterschiedlichen Prozeßparameter wie Substratgröße, Gasmischungen, Mikrowellen- und RF-Leistung und dergleichen darstellen, wobei innerhalb der Diplomarbeit nicht alle Möglichkeiten ausgeschöpft werden konnten. Ausgehend von der Darstellung einiger wichtiger Grundlagen zur Plasmaätztechnologie wird vorrangig auf den Aufbau der Anlage und die Optimierung der Prozeßkomponenten und des Ätzprozesses eingegangen. <!-- #h:dissdiplReaktives Ionenätzen.doc# -->
<UL> <LI>Untersuchungen zum Stromverlauf in hydroelektrischen medizinischen Vollbädern, speziell die Beeinflussung von Patientenhubeinrichtungen auf den Stromverlauf in den Wannen <LI>Dabei wurden Messungen vor Ort, Modellmessungen und Berechnungen gemacht <LI>Ein spezielles Berechnungsprogramm wurde aufgestellt <LI>Aufgrund der gemachten Untersuchung werden Aussagen über die Kombination hydroelektrisches Vollbad mit Patientenhubeinrichtung getroffen </UL> <!-- #h:dissdiplHydroelektrisches med. Vollbad.doc# -->
Im Rahmen dieser Diplomarbeit wurde untersucht, ob die Excimerlasermastenprojektion als Technologie zur Herstellung hochintegrierter Ultraschall-Mehrelementenwandler aus Bleicironat-Titanat (PZT) eingesetzt werden kann. Außerdem beinhaltet diese Arbeit eine vergleichende Zusammenstellung der gegenwärtig verfolgten Technologien zur Herstellung von PZT-Mehrelementwandlern. <!-- #h:dissdiplPZT-Keramik.doc# -->
Die Diplomarbeit führt die Arbeiten an der Systemkomponente, deren Aufgabe die Abarbeitung von Fehlerbäumen ist, fort. Insbesondere wird dabei auf den Inferenzmechanismus eingegangen, d.h. den Teil des Programms, der einen geeigneten Weg durch einen Fehlerbaum findet und so zu einer Diagnose gelangt. Eine wichtige Rolle spielt dabei die Arbeit mit unsicherem Wissen. Weiterhin beschäftigt sich die Arbeit mit den Möglichkeiten der Nutzung mehrerer Teildiagnosebäume und der Realisierung der Kommunikation mit dem Endnutzer während einer Diagnosesitzung. <!-- #h:dissdiplDiagnosegraph.doc# -->
Diese Arbeit beschreibt den Aufbau und ein Auswertungsprogramm der Behandlungsdatenträger (BDT)-Schnittstelle (BDT VIEW). Die Software wurde unter speziellen Gesichtspunkten der Optimierung erstellt. Dies sind Zeitverhalten, gute Bedienbarkeit, Softwarepflege und spezielle Algorithmen zur Bewältigung großer Datenmengen. <!-- #h:dissdiplBehandlungsdatenträger.doc# -->
Der Inhalt dieser Diplomarbeit ist ein (globales) 'Kommunales Informationssystem (KIS) für die Stadt Zwickau. Es sind wesentliche Schwerpunkte der kommunalen Verwaltung und des kommunalen Rechnungswesens zu erörtern und eine neue Oracle-Datenbank einzuführen.<br> Ausgangspunkt waren indexsequentielle Dateifiles. Der Datenaufbau dieser konventionellen dateien wurde untersucht. Die daraus gewonnenen Erkenntnisse bildeten die Grundlage für den Entwurf eines relationalen Oracle-Datenbankmodells. Dabei wurden die vorhandenen Metadaten ebenfalls in die neue Datenbankstruktur konvertiert.<br> Aufgrund der Komplexität eines Informationssystems stellt das vorliegende Ergebnis dieser Arbeit ein 'Kommunales (Finanz-) Informationssystem' dar. Es erfüllt alle wesentlichen kommunalen Analysen, die bei der Auswertung der Haushaltsdaten, bei der Haushaltsplanung, Haushaltsüberwachung und der Jahresrechnung anfallen. <!-- #h:dissdiplKommunales Informationssystem.doc# -->
Thermolumineszensdosimetrie zur Bestimmung kleiner Energiedosen unter Verwendung von Cu, P, Mg...
(1995)
Aufbauend auf den existierenden Erfahrungen bei der Ermittlung von Energiedosen ionisierender Strahlung unter Verwendung der Thermolumineszensdosimetrie im Zentrum für Radiologie am Universitätsklinikum Leipzig, befaßt sich diese Diplomarbeit mit der Entwicklung eines Meßverfahrens für eine neues Detektormaterial. <!-- #h:dissdiplErmittlung von Energiedosen.doc# -->
In dieser Arbeit wird das Verfahren der UV/Ozonreinigung dargestellt und seine Mechanismen erläutert. Es ist eine einfache und rationelle Trockenreinigungsmethode zur Entfernung organischer Materialien, die auch in Vakuumanlagen eingesetzt werden kann. In den durchgeführten Versuchen dienten befettete 4'-Wafer als Proben. Die Auswertung erfolgte anhand der Entfärbung des Fettfilmes auf dem Wafer. Es zeigte sich, daß mit zunehmenden Druck und mit wachsender Nähe zum UV-Strahler der Reinigungseffekt zunimmt. Die Effizienz diese Verfahrens wird mit einer UV- und UV/Sauerstoff-Reinigung verglichen und der Aufbau einer Reinigungsanlage beschrieben. <!-- #h:dissdiplOzonreinigung.doc# -->
Es werden Modellierungen von arteriellen Blutgefäßen des Becken- und Beinbereiches, von arteriellen Verschlüssen sowie von Ultraschall-Applikationen durchgeführt. Im Vorfeld erfolgen grundlegende Betrachtungen zu menschlichen Arterien selbst und zur arteriellen Verschlußkrankheit. Die geschaffenen Modelle bilden die Grundlage für eine einsatzgerechte Entwicklung von Ultraschallinstrumenten in der rekonstruktiven Gefäßchirurgie. Dabei wird der kavitative Leistungsultraschall mit dem Ziel eingesetzt, Stoff- und Strukturveränderungen im Biogewebe vorzunehmen bzw. Trenneffekte zu erzeugen. Potentielle Wirkmechanismen, die kavitativer Leistungsultraschall im biologischen Gewebe hervorruft, werden theoretisch betrachtet und experimentell untersucht. <!-- #h:dissdiplUltraschall-Applikatoren.doc# -->
