Untersuchungen zum plasmagestützten chemischen Hochrateätzen
- Das Ziel dieser Arbeit ist es, den Nachweis zu erbringen, daß lokales plasmagestütztes Hochrateätzen (PACE) an Quarz mit linear bewegter Quelle zur Herstellung von Hochleistungsoptiken möglich ist. Zielstellung ist die Entwicklung eines plasmachemischen Hochrateätzverfahrens. Es soll ein effektives wirtschaftliches Verfahren entwickelt werden, welches hohe Genauigkeiten, große Bearbeitungstiefen und sehr große Abtrageraten an optischen Gläsern realisieren kann. Dieses Verfahren soll Einsatz in der Bearbeitung von großen Oberflächen und bei der Herstellung von Asphärenoberflächen finden. <!-- #h:dissdiplPlasma Ätzen.doc# -->
Metadaten| Author: | Axel Wiegand |
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| Advisor: | Ullrich Reinhold, A. Schindler |
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| Document Type: | Diploma Thesis |
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| Language: | German |
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| Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
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| Year of first Publication: | 1997 |
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| Date of final exam: | 1997/08/04 |
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| Release Date: | 2000/09/11 |
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| Tag: | Hochleistungsoptiken; Oberflächenrauhigkeit |
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| GND Keyword: | Plasma Ätzen; PACE |
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| Page Number: | o. A. |
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| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
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| Release Date: | 2000/09/11 |
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