@misc{Wiegand2000,
  author    = {Wiegand, Axel},
  title     = {Untersuchungen zum plasmagest{\"u}tzten chemischen Hochrate{\"a}tzen},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  pages     = {o. A.},
  year      = {2000},
  abstract  = {Das Ziel dieser Arbeit ist es, den Nachweis zu erbringen, daß lokales plasmagest{\"u}tztes Hochrate{\"a}tzen (PACE) an Quarz mit linear bewegter Quelle zur Herstellung von Hochleistungsoptiken m{\"o}glich ist. Zielstellung ist die Entwicklung eines plasmachemischen Hochrate{\"a}tzverfahrens. Es soll ein effektives wirtschaftliches Verfahren entwickelt werden, welches hohe Genauigkeiten, große Bearbeitungstiefen und sehr große Abtrageraten an optischen Gl{\"a}sern realisieren kann. Dieses Verfahren soll Einsatz in der Bearbeitung von großen Oberfl{\"a}chen und bei der Herstellung von Asph{\"a}renoberfl{\"a}chen finden. <!-- \#h:dissdiplPlasma {\"A}tzen.doc\# -->},
  subject      = {Plasma {\"A}tzen},
  language  = {de}
}