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Diploma Thesis

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Year of publication

  • 2007 (1)

Document Type

  • Diploma Thesis (1) (remove)

Institute

  • Physikalische Technik, Informatik (1)

Language

  • German (1)

Author

  • Trommer, Jens (1) (remove)

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Ferndetektion und qualitative Elementanalyse dünner Metallschichten auf Siliziumträgermaterial mittels Laser-Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS) durch kurze und ultrakurze Laserpulse (2007)
Trommer, Jens
Ziel dieser Arbeit war die Konzeption und die Realisierung eines Messaufbaus zur qualitativen Elementanalyse mittels laserinduzierter Plasmaspektroskopie. Die Funktionalität und hohe Empfindlichkeit dieses Messaufbaus wurde anhand von Proben mit ca. 20nm dicken Metallschichten und Einelementproben nachgewiesen. Sowohl die Erzeugung des Plasmas auf der Probe als auch die Detektion und anschließende Analyse des Plasmaleuchtens sollte abstandsbasiert über Entfernungen von ca. 5 m erfolgen. Dazu kamen Kurzpuls
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