Diploma Thesis
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Im Rahmen dieser Arbeit sollte ein Drucksensor entwickelt werden, der einen Differenzdruck mit Hilfe zweier Relativdruckmesszellen im Abgasstrang eines Fahrzeuges misst. Nach kurzer Vorstellung und Einordnung eines Differenzdrucksensors wird näher auf die Signalaufnahme eingegangen. Es werden Grundlagen zur WHEATSTONschen Messbrücke wiederholt und anschließend auf die Anwendung dieser auf den Halbleiterzellen eingegangen. Konkret zu den Halbleitermesszellen werden deren Eigenschaften bezüglich der Druckmessung, der piezoresitive Effekt und die Signalfehler abgehandelt. Es werden Fehler-Kompensationsmaßnahmen und mögliche Schaltungsvarianten mit Einsatz eines ASIC's gezeigt. Dabei steht die elektrische Signalbildung im Vordergrund. Weiterhin wird die Prototypen-Herstellung beschrieben und die ermittelten Messwerte aufgezeigt und ausgewertet.
