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Diploma Thesis

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Year of publication

  • 1997 (1)

Document Type

  • Diploma Thesis (1) (remove)

Institute

  • Physikalische Technik, Informatik (1)

Language

  • German (1)

Author

  • Schwach, Marco (1) (remove)

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Untersuchungen zur reproduzierbaren Abscheidung superharter, amorpher C-Schichten (1997)
Schwach, Marco
Es wird das Laser-Arc-Verfahren als lasergesteuertes, gepulstes Vakuumbogenverfahren sowie dessen Entstehung beschrieben. Unter Verwendung eines Graphittargets werden amorphe Kohlenstoffschichten hergestellt. Während des Beschichtungsprozesses erfolgte eine Variation von Bogenstrom und Bogenfrequenz. Die abgeschiedenen Schichten werden hinsichtlich ihrer Struktur und ihrer mechanischen Eigenschaften untersucht und charakterisiert. <!-- #h:dissdiplAmorpher Kohlenstoff.doc# -->
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