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Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Herstellung (reaktives Magnetronsputtern) und der Charakterisierung (ERDA, XPS, XRD, RAMAN, spez. Widerstand, optische Untersuchungen, differenzielle elektrochemische Massenspektroskopie (DEMS)) von Titanoxinitrid-Schichten für die photokatalytische Wasserspaltung. Die Schichten sollen (in späteren Systemen) für die Oxidation des Wasser eingesetzt werden. Wegen des hohen Oxidationspotenzials vom reinen Titandioxid und seiner Korrosionsbeständigkeit sollte die Struktur weitestgehend erhalten bleiben, parallel sollten die Schichten jedoch, durch die Modifizierung mit Stickstoff, für den sichbaren Spektralbereich sensibilisiert werden. Bis zu einem Stickstoffgehalt von etwa 10 at% blieb die TiO2-Struktur erhalten. Durch die Modifizierung wurde eine Verschiebung der Bandkante erreicht. Die Schichten zeigten teilweise eine photokatalytische Aktivität im VIS, jedoch wurde parallel die UV-Aktivität gehemmt.