Diploma Thesis
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Im Rahmen dieser Diplomarbeit wird das nanodisperse quaternäre System Cr-Ti-Si-N untersucht. Nach der Einführung in das Thema wird kurz der Stand der Technik dargestellt. Anschließend wird der Versuchsaufbau und der Beschichtungsprozess erklärt. Daran knüpft die Ergebnisdarstellung der einzelnen Untersuchungsmethoden an. Mit Hilfe der Erkenntnisse werden Rückschlüsse auf die Struktur der Schicht, die chemische Zusammensetzung und die mechanischen Eigenschaften gezogen. Im Anschluss folgt die Beurteilung dicker Schichten. Abschließend werden die Ergebnisse zusammengefasst und ein Ausblick dargestellt.
