Physikalische Technik, Informatik
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Entwicklung und Qualifizierung einer periodischen Reaktivgas-Kammerreinigung bei PECVD-Prozessen
(2012)
Gegenstand der hier vorgestellten Arbeit ist die Entwicklung und Qualifizierung einer periodischen Reaktivgas-Kammerreinigung bei PECVD-Prozessen. Während der PECVD-Abscheidung wird nicht nur die Waferoberfläche beschichtet, sondern es erfolgt auch eine Belegung des Reaktorinnenraums. Mit jedem weiteren Abscheidungszyklus wächst die Kammerbeschichtung an. Um einen definierten Zustand herzustellen, muss die Akkumulation durch einen Reinigungsschritt entfernt werden. Hierfür wird ein plasmaaktiviertes Reaktivgas dem PECVD-Reaktor zugeführt, welches mit der Kammerbelegung zu einer stabilen gasförmigen Verbindung reagiert. Die Reaktionsprodukte werden anschließend abgepumpt und der Abgasnachbehandlung zugeführt. Durch das Entfernen der Reaktorbeschichtung werden stabile Prozess-bedingungen und ein kalkulierbares Partikelrisiko sichergestellt. Die Trockenreinigung ist ein sehr zeitintensiver Vorgang. Darüber hinaus werden dafür erhebliche Mengen klimawirksamer und kostenintensiver fluorierter Gase eingesetzt. Sowohl aus ökologischen, als auch ökonomischen Gründen ist es erstrebenswert den Ablauf der Reinigungsprozedur zu optimieren. Im etablierten Prozessablauf erfolgt die Beseitigung der Kammerakkumulation nach jeder Abscheidung. Im Rahmen dieser Arbeit wurde eine periodische Reinigung des Reaktors
Der stetig fortschreitenden Entwicklung in der Elektronikindustrie folgen gesteigerte Anforderungen an die Leiterplattenherstellung. Ebenso werden an den Prozess der Durchkontaktierung, einer der wichtigsten Schritte in der heutigen Leiterplattenfertigung, neue Herausforderungen gestellt. Mit Hilfe von Plasmatechnologien können diese gemeistert werden. Ziel dieser Arbeit ist es, den Prozess des Plasmadesmear mit dem Schwerpunkt auf ausgewählte Basismaterialien unter Berücksichtigung der Fertigungsbedingungen der KSG Leiterplatten GmbH zu untersuchen. Dabei werden die wissenschaftlichen Grundlagen zum Thema Plasma bezüglich der Aufgabenstellung erläutert und der Prozessablauf erklärt. Des Weiteren werden die experimentellen Untersuchungen an ausgewählten Materialien mit dem Ziel der Prozessoptimierung aufgezeigt und beurteilt. Die Zusammenstellung der zu analysierenden Materialien wird begründet. Da eine Bewertung des Desmearergebnisses allgemein schwer fällt, werden im Rahmen dieser Arbeit unterschiedliche Möglichkeiten zur Überwachung der Produkt- und Prozessqualität aufgezeigt und hinsichtlich ihrer Aussagekraft und Durchführbarkeit bewertet. Die verschiedenen Einflussfaktoren auf die Desmearwirkung bei der Plasmabehandlung konnten aufgezeigt und bezüglich der ausgewählten Materialien aufeinander abgestimmt werden.
Inhalt dieser Bachelorarbeit ist die Betrachtung der Entwicklung eines neuartigen Medizinproduktes anhand rechtlicher Grundlagen. Am Beispiel eines normothermen extrakorporalen Perfusionssystems für den Organtransport werden die Klassifizierung durchgeführt und mögliche Konformitätsbewertungsverfahren aufgezeigt. Die für Medizinprodukte geforderten technischen Anforderungen werden anhand von Beispielen, die auf das Gerätesystem anzuwenden sind, erläutert und durch technische Normen und anerkannte Richtlinien belegt.
Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Frameworks, das die Implementierung, Durchführung und Auswertung von Performancetests erleichtern soll. Mit den Tests sollen Performanceprobleme erkannt und die Ursachen schnell lokalisiert werden können. Es wird erklärt, welche Daten hierfür benötigt werden. Um diese Daten zu ermitteln, werden für das Framework bestehende Tools eingebunden. Dabei wird genauer auf die verschiedenen genutzten Schnittstellen und Protokolle eingegangen, wie zum Beispiel JSON-RPC. Für die grafischen Auswertungen der Daten werden grundlegende Überlegungen für die Visualisierung angeführt. Es werden die Merkmale erläutert und berücksichtigt, die eine gute Performanceanalyse kennzeichnen. Auch werden die Kriterien für ideale Performancetests beschrieben und die Vorgehensweisen, um dafür Testfälle zu entwerfen. Dementsprechend wird ein erster Test entwickelt. In dem Zusammenhang werden Eigenschaften der zu testenden Anwendung näher erklärt, die bei der Testerstellung besondere Beachtung erfahren müssen.
Die Medizinische Informatik des Heinrich-Braun-Klinikum Zwickau nutzt momentan verschiedene Wege, um Mitarbeiter über zukünftige Wartungsarbeiten, Projektverläufe oder andere Vorhaben zu informieren. Ein Wiki ist vorhanden, Laufbänder werden genutzt oder die Kommunikation findet per Email statt, aber es gibt kein einheitliches Portal. Deshalb möchte die IT-Abteilung ein Enterprise Content Management System als Werkzeug haben, um verschiedene Informationen zur Verfügung zu stellen und um zukünftige Projekte oder anfallende Aufgaben besser zu planen, zu steuern und zu überwachen. Es soll dabei eine Plattform geschaffen werden, auf der die Mitarbeiter des Heinrich-Braun-Klinikum Zwickau in Zukunft Informationen bekommen, über wichtige Ereignisse in Kenntnis gesetzt werden sollen und die aktuellen Stände über Projekte einsehen können. Außerdem soll das Enterprise Content Management System sowohl für die interne Kommunikation, für die IT-Abteilung, als auch für die externe, innerhalb des Krankenhauses, dienen.
Wirkung ionisierender Strahlung in Kombination mit Nanopartikeln auf verschiedene zelluläre Systeme
(2012)
Gerade in der Medizintechnik werden die neuesten Technologien eingebracht um der Menschheit wertvollstes Gut, die Gesundheit, zu wahren bzw. zu verbessern. Wie aktuell das Beispiel der Nanopartikel zeigt, kommt es dabei immer wieder zum Einsatz neuer Materialien. Diese versprechen ungeahnte Möglichkeiten im pharmazeutischen, diagnostischen und therapeutischen Bereich der Medizin. Als Kehrseite der Medaille besteht jedoch die Ungewissheit, welche genauen Risiken sich daraus für Mensch und Umwelt ergeben. Wichtig dabei ist auch die Betrachtung möglicher kombinatorischer Effekte, wie sie in Therapie und Diagnostik ausgelöst werden könnten. Aus diesem Grund wurde im Rahmen dieser Bachelorarbeit die kombinatorische Wirkung von Nanopartikeln und ionisierender Strahlung auf das freie intrazelluläre Kalzium von unterschiedlichen Zelltypen untersucht.
In der Halbleiterindustrie nimmt der fortschreitende Anspruch, Qualität und Quantität in Einklang zu bringen, in hohem Maße zu. Endkunden interessieren sich insbesondere im Bereich Mikroelektronik für ein qualitativ hochwertiges Produkt mit umfassender Funktionalität, welches zudem den immer schneller wachsenden Anforderungen der Verbraucher entsprechen soll. Zudem besteht die Herausforderung, in einem stark umkämpften Markt, wettbewerbsfähig und wirtschaftlich zu bleiben. Die daraus resultierende fortlaufende Miniaturisierung der Strukturen erfordert hohe Entwicklungskosten, die durch optimierte und stabile Produktions- und Fertigungsprozesse kompensiert werden müssen. Um diesen Anspruch gerecht zu werden, müssen insbesondere zuverlässige und durchsatzoptimierte Messsysteme in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen. Dessen Hauptaufgaben sind es, bestehende Produktions- und Entwicklungsprozesse zu kontrollieren und zu stabilisieren. Des Weiteren steht eine möglichst genaue und schnelle Ergebniserzielung im Fokus, um zeitnah auf Prozessabweichungen reagieren zu können. Ziel dieser Diplomarbeit ist es, die bestehenden Messsysteme, die zum einen die Methode der Rasterelektronenmikroskopie (Scanning Electron Microscope - SEM) und zum anderen die Methode der Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscope - AFM) nutzen, bei der Ermittlung von Linienbreiten auf kritischen Strukturen zu untersuchen. Die daraus entstehenden Vor- und Nachteile beider Messmethoden sollen Aufschluss über den zukünftigen Einsatz im Produktionsbereich bei GLOBALFOUNDRIES bringen und die Möglichkeit geben, die Vorteile beider Systeme aufeinander abzustimmen.
Die Bestimmung der Pulswellengeschwindigkeit aus oszillometrischer Blutdruckmessung ist eine vielversprechende Methode zur routinierten Gefäßsteifigkeitsuntersuchung. Dabei wird der Pulskurvenverlauf bei übersystolischen Manschettendruck an der Arteria brachialis aufgezeichnet und ausgewertet. Ziel der Bachelorarbeit war es für dieses Verfahren einen Algorithmus zur automatisierten Pulskurvenauswertung zu optimieren und diesen in Echtzeit mit Hilfe eines Microcontrollers auf einer Embedded System Plattform zu testen. Für die Umsetzung musste eine radikale Einsparung von Speicherplatz und Rechenaufwand erfolgen. Dazu wurden die Abtastfrequenz von 1000 Hz auf 500 Hz und die Messzeit von 30 s auf 16 s reduziert. Weiterhin wurde die Qualität der Messung durch Veränderung der Ableitungs- und Glättungsfilter auf 11 bzw. 9 Werte, Bestimmung von Ersatzpunkten aus der Mittelwertkurve für bisher nicht auswertbare Messungen, Aussortieren störsignalbehafteter Daten sowie Beseitung bestehender Schwachstellen verbessert. Der Algorithmus wurde für die Realisierung von Echtzeitmessungen in die Programmiersprache C portiert, in einem Versuch mit 15 Probanden erfolgreich getestet und gegenüber dem Referenzgerät Arteriograph mit einem Korrelationskoeffizienten von R = 0,85 validiert.
