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Autorenreferat Noch immer sind herkömmlich hergestellte AFM-Cantilever trotz der auf dem Markt in vielen Varianten erhältlichen mikromechanischen Sensoren in der Herstellung teuer und in der Anwendung wegen der materialspezifischen Probleme eingeschränkt. Einfacher und preiswerter lassen sich diese Cantilever herstellen, wenn es möglich ist, den Herstellungsprozess vor allem mittels lithografischer Verfahren durchzuführen. In vorangegangen Arbeiten ist es gelungen, solche Cantilever, auf Basis des Photoresists SU-8, in der Fachgruppe Mikrosystemtechnik an der WHZ herzustellen. Der Einsatz dieses Polymers bringt durch die materialspezifischen Eigenschaften weitere Vorteile für den Einsatz in der Rasterkraftmikroskopie mit sich. Wichtig hierfür ist es, die dafür notwendigen Materialkenngrößen wie Elastizitätsmodul, Federkonstante und Eigenfrequenz des Cantilevers genau zu kennen. Ziel dieser Arbeit ist es diese Cantilever bzgl. ihrer Eigenschaften zu charakterisieren. Hierfür wird als erster Schritt die Anwendbarkeit der Kraftkalibrierung mit der Methode nach Sader et. al., in Verbindung mit dem Anfatec Level AFM, ermittelt. Weiterhin werden die verschiedenen Cantilever auf ihre Geometrie überprüft und mit diesen Daten sowie der erwähnten Methode die Federkonstanten und der E-Modul bestimmt. Im dritten Teil dieser Arbeit erfolgen erste Untersuchungen zum Güte- und Resonanzverhalten von SU-8 Cantilevern unter Vakuumbedingungen.

Amorphe hydrogenisierte Siliziumnitridschichten gelten als Standard - Antireflexionsschicht bei der industriellen Produktion kristalliner Silizium - Solarzellen. Steigende Anforderungen wie verbesserte Passivierungseigenschaften, verbesserte Dichte der Schicht und geringere Schichteigenspannung erfordern die genaue Kenntnis der Schichtzusammensetzung. In dieser Arbeit wurde die Zusammensetzung und die daraus resultierenden Eigenschaften von den Abscheidungsparametern mittlere Mikrowellenleistung, Druck, Temperatur, Gesamtgasfluss, Gasmischungsverhältnis, Leistung der zusätzlich Hochfrequenz und Pulsparameter einer gepulsten linearen Mikrowellenplasmaquelle mit und ohne zusätzliche Hochfrequenzunterstützung untersucht.

In der Halbleiterindustrie spielen vor allem zwei Größen eine herausragende Rolle, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Mit fortschreitender Miniaturisierung der Struk-turgrößen bei gleichzeitiger Erhöhung der Funktionalität von mikroelektronischen Bauteilen wird es immer wichtiger, dass genaue Modelle hinsichtlich der Lebens-dauer und deren Einflussgrößen zur Verfügung stehen. Vorhersagen zur Zuverläs-sigkeit eines Bauelementes müssen präzise, kostensparend und schnell getroffen werden um am Markt zu bestehen. Ziel dieser Diplomarbeit ist es eine Messmethode zur zeitabhängigen Durchbruchs-bestimmung (Time Dependent Dielectric Breakdown

Charakterisierung von Ätzprodukten in Trockenätzplasmen mittels Infrarot-Absorptionsmessung. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der Messung von Siliciumtetrafluorid (SiF4). Mit Hilfe der Absorptionsspektroskopie und dem Quantenkaskadenlaser ist es möglich, ätzrelevante Größen, wie die absolute Konzentration von Ätzprodukten, zu diagnostizieren. Durch den direkten und quantitativen Zugang zu diesen Größen ergeben sich Möglichkeiten der Überwachung für Reproduzierbarkeit und Stabilität bis hin zur Regelung durch direkten Eingriff auf Prozessparameter. Es wurde ein Weg aufgezeigt, wie mittels des Messgerätes Q-MACS Etch der Firma neoplas control GmbH in Zusammenarbeit mit dem Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie (INP Greifswald e.V.) der prinzipielle Ablauf für das Einbringen in eine bestehende produktive Ätzkammer der Halbleiterfertigung erfolgen müsste. Mit Hilfe der theoretischen Grundlagen und physikalischen Gesetzmäßigkeiten wurde durch zahlreiche Messungen, der daraus resultierenden linearen Regression, die Voraussetzung geschaffen, dass eine Messung des SiF4 Moleküls als Ätzprodukt auch unter Plasmabedingungen möglich ist. In einem Plasmaexperiment wurden mittels eines DoEs die Einflussgrößen Druck, RF-Leistung und der partielle Fluss von NF3 in Verbindung mit N2 als unmittelbare Wirkung auf die absolute Konzentration von SiF4 untersucht. In diesem Experiment ist der Nachweis erfolgt, dass sich im Plasma, in Verbindung mit dem Siliziumwafer als Substrat, die Molekülverbindung SiF4 bildet. Diese messbare Zielgröße konnte in einem Modell für den betrachteten Parameterraum sehr gut bestimmt werden. Ein zweites umfangreiches Experiment wurde mit SiF4 und N2 als Trägergas durchgeführt. Auch hier wurde durch das Setup ein Parameterraum für die Größen Druck, RF-Leistung und Partialfluss von SiF4 festgelegt. Mittels statistischer Auswertung wurden die Abhängigkeiten der Parameter auf die Zielgröße bestimmt. Die Ergebnisse können als Basis für eine kontrollierte Regelung dienen. Grundsätzlich wurde der Nachweis erbracht, dass sich mit der vorgestellten Messmethode eine außerordentlich interessante Möglichkeit für prozessnahe Überwachung und Regelung ohne negative Störungen auf das System bietet.

Nicht nur, dass der Funktionsnachweis von der Ableitung bioelektrischer Signale mittels textiler Elektroden erbracht wurde, ist auch deren Verwendung seit Jahren immer mehr auf dem Vormarsch und erfreut sich auf dem medizinischen Sektor immer größerer Beliebtheit. Die Elektroden samt Technik sollen in ein Kleidungsstück integriert werden, die mit dem kapazitiven Prinzip Muskelpotentiale, insbesondere die des Herzens, erfasst werden sollen. Aufgrund dessen, dass man auf den galvanischen Kontakt verzichten kann, ist diese Methode dafür geeignet. Wie bei der konventionellen Ableitung gibt es auch hier, bei dem kapazitiven Prinzip, Probleme in der Langzeitanwendung. Neben den Bewegungsartefakten, welche die Messung beeinflussen, ist auch die Erdung des Patienten ein Hindernis. Ziel dieser Arbeit war es ein Elektrodensystem zu entwickeln, mit dem man das EKG ableiten kann. Neben der Schaltungsentwicklung kamen unterschiedliche Sensoren zum Einsatz um dieses Ziel zu erreichen. Allerdings muss im Endeffekt festgehalten werden, dass das gestellte Problem nicht gelöst werden konnte, sondern nur ein erster Schritt in diese Richtung war.