Open Access

Jakob Heinritz

• Die vorliegende Bachelorarbeit hatte das Ziel, die bestehende Anlagensoftware derFirma ACSYS Lasertechnik GmbH so zu erweitern, dass Oberflächenfunktionalisierungen mit sehr kleinen regelmäßigen Strukturen einfach und prozesssicher hergestellt werden können. Die dazu verwendete Hardware bestand aus einem Laser, einem DLIP-Modul der Firma Fusion Bionic und einem PC mit einer Steuerkarte der Firma Scanlab. Ein wesentlicher Bestandteil der Arbeit war die Implementierung einer Multithreading-Schnittstelle zur Kommunikation mit dem DLIP-Controller. Dazu wurde ein Zustandsautomat entwickelt, welcher die Initialisierung, das Verfahren und die Statusüberwachung des DLIP-Moduls sicherstellt. Ein weiterer Aspekt war die Untersuchung von entstehenden Fehlern, wie Fokusverschiebung und Arbeitsfeldverzerrung. Dabei wurde der mathematische Zusammenhang zwischen Strukturperiode und Fokusverschiebung ermittelt. Das Ergebnis dieser Arbeit ist eine Softwareerweiterung, welche die Ansteuerung des DLIP-Moduls sowie die weitestgehend automatische Korrektur der entstehenden optischen Fehler realisiert. Die Erweiterung wurde erfolgreich auf unterschiedlichste Fehlereinflüsse (Fehleingaben, Kommunikationsabbrüche, etc.) getestet. Die Software kann so auf einer noch zu entwickelnden neuen Anlage kundentauglich eingesetzt werden.