@mastersthesis{Birtel2019,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Birtel, Peter},
  title     = {Untersuchung der optischen und elektrischen Eigenschaften von großfl{\"a}chig mittels Magnetronsputtern vom keramischen Rohrtarget abgeschiedenen ITO-Schichten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  school    = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  pages     = {69 Seiten, 38 Abb., 12 Tab., 44 Lit.},
  year      = {2019},
  abstract  = {Indiumzinnoxid ist ein transparentes und elektrisch leitf{\"a}higes Metalloxid. Es findet Anwendung in Architekturgl{\"a}sern oder als transparente Elektrode in Flachbildschirmen und Solarzellen. Die daf{\"u}r n{\"o}tigen D{\"u}nnschichten k{\"o}nnen zum Beispiel durch Sputtern hergestellt werden. Aufgrund des hohen Gehaltes des seltenen Elementes Indium ist das Beschichtungsmaterial teuer und eine {\"o}konomische Nutzung geboten. Im Vergleich zum DC Magnetronsputtern von der planaren Kathode, steigt durch den Einsatz einer Rohrkathode die Targetausnutzung. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden klein- und großfl{\"a}chige Indiumzinnoxidschichten mittels Magnetronsputtern vom keramischen Rohrtarget hergestellt. Die elektrischen und optischen Schichteigenschaften werden mit denen vom keramischen planaren Target verglichen.},
  language  = {de}
}