@mastersthesis{Tautenhahn2017,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Tautenhahn, Nancy},
  title     = {Erarbeitung eines Messverfahrens zur Bestimmung von mechanischen Spannungen stark gekr{\"u}mmter Schichten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  school    = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  pages     = {64 Seiten, 37 Abb., - Tab., 45 Lit.},
  year      = {2017},
  abstract  = {In der vorliegenden Arbeit ist ein Messplatz zur Eigenspannungsbestimmung gekr{\"u}mmter D{\"u}nnschichten erstellt worden. Es wurden nichtinvasive Messmethoden zur Eigenspannungsbestimmung gesammelt und auf Tauglichkeit f{\"u}r die gew{\"u}nschten amorphen oder teilkristallinen D{\"u}nnschichtproben analysiert. D{\"u}nnschichten wurden mittels der Bogen -Plasma erweiterten chemischen Gasphasenabscheidung (arcPECVD) beschichtet und bez{\"u}glich der Eigenspannungen charakterisiert. Druckspannungen sind festgestellt worden.},
  language  = {de}
}