@mastersthesis{Hertel2018, type = {Bachelor Thesis}, author = {Hertel, Silvia}, title = {Prozessevaluierung zur galvanischen Abscheidung nano skalierter Mehrschichtsysteme}, institution = {Physikalische Technik, Informatik}, school = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau}, pages = {43 Seiten, 27 Abb., 4 Tab., 16 Lit.}, year = {2018}, abstract = {Ziel der vorliegenden Arbeit ist die elektrochemische Erzeugung von reaktiven Mehrschichtsystemen (RMS) aus der Einbadtechnik basierend auf dem System Palladium/Zinn. Durch die Charakterisierung der Elektrolyte mittels Stromdichte- Potential- Kurven (SPK) konnte gezeigt werden, dass Parameter wie z.B. Homogenisierungsdauer und Umw{\"a}lzung Einfluss auf die Stabilit{\"a}t des Elektrolyten haben. Des Weiteren wurde nachgewiesen, dass die R{\"u}hrgeschwindigkeit des Elektrolyten bei der Abscheidung einen wesentlichen Einfluss auf die Schichtzusammensetzung hat. Legierungsschichten unterschiedlicher Zusammensetzung konnten durch das Variieren des Potentials und der Konvektion hergestellt werden. Im Rahmen dieser Arbeit konnte keine Stapelung der einzelnen Schichten erfolgreich durchgef{\"u}hrt werden. F{\"u}r die Herstellung von Mehrschichtsystemen sind daher noch weitere Untersuchungen notwendig.}, subject = {Galvanische Abscheidung}, language = {de} }