@misc{Noack2018, author = {Susann Noack}, title = {Eigenschaften von Barriereschichtsystemen aus gesputterten Zink-Zinn-Oxid und mittels arcPECVD hergestellten SiOxCyHz-Plasmapolymerschichten}, institution = {Elektrotechnik}, type = {bachelorthesis}, pages = {34 Seiten, 28 Abb., 9 Tab., 21 Lit.}, year = {2018}, }