@mastersthesis{Noack2018,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Noack, Susann},
  title     = {Eigenschaften von Barriereschichtsystemen aus gesputterten Zink-Zinn-Oxid und mittels arcPECVD hergestellten SiOxCyHz-Plasmapolymerschichten},
  institution = {Elektrotechnik},
  school    = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  pages     = {34 Seiten, 28 Abb., 9 Tab., 21 Lit.},
  year      = {2018},
  abstract  = {Aufgrund der immer gr{\"o}ßer werdenden Bedeutung von organischen Materialien in der Halbleiterindustrie und der Elektronik w{\"a}chst die Anforderung an leistungsstarke Permeationsbarriereschichten, um die Lebensdauer von organischen Bauteilen durch ein Abschirmung von Wasserdampfeinfl{\"u}ssen zu verl{\"a}ngern und die Produktion wirtschaftlicher zu gestalten. Im Mittelpunkt dieser Arbeit stand vor allem die Barrierewirkung eines Schichtsystems mit mittels arcPECVD hergestellter siliziumhaltiger Plasmapolymer Zwischenschichten verschiedener Zusammensetzungen (verschiedenen Versuchsparametern) bei gleichbleibendem Monomer-Fluss und in variablen Schichtsystemen. Hierf{\"u}r wurden zun{\"a}chst die Einzelschichten grob auf ihre Zusammensetzung und ihre Schichtspannung, abh{\"a}ngig von den Herstellungsparametern der Schicht, betrachtet. Ausgehend davon wurden verschiedene Schichtsysteme auf eine PET Folie aufgebracht und hinsichtlich ihrer Barrierewirkung und Oberfl{\"a}chenrauheit untersucht. Dabei wurde deutlich, dass Barrieresysteme mit einer Zink-Zinn-Oxid (ZTO) Schicht (Barriereschicht) beginnen m{\"u}ssen, um eine Barrierewirkung erzielen zu k{\"o}nnen. Eine direkt darauf aufgebrachte arcPECVD Schicht wirkt wie eine Schutzschicht und kann die Wasserdampfdurchl{\"a}ssigkeit nach dieser ersten ZTO Schicht bereits um ein 4-faches verringern. Weitere Schichtstapel, bestehend aus einer ZTO und einer entsprechend dicken arcPECVD Schicht, bringen weitere Verringerungen der Wasserdampfdurchl{\"a}ssigkeit. Die erste arcPECVD Schicht bringt die gr{\"o}ßte Ver{\"a}nderung des Barrierewertes.},
  language  = {de}
}