@mastersthesis{Br{\"a}uner2018,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Br{\"a}uner, Tobias},
  title     = {Machbarkeitsstudie einer optoelektronischen Probecard im Prozess Monitoring},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  school    = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  pages     = {75 Seiten, 32 Abb., 5 Tab., 27 Lit.},
  year      = {2018},
  abstract  = {Der Halbleiterhersteller X-FAB bietet eine Reihe von Technologien (z.B. XH018) in denen CMOS-Photodioden hergestellt werden. Am Ende der Prozessierung werden die Halbleiterbauelemente auf Waferebene gepr{\"u}ft. Bislang konnten nur rein elektrische Parameter wie Kapazit{\"a}ten oder Durchbruchsspannungen im Prozess Monitoring gepr{\"u}ft werden. F{\"u}r optoelektronische Parameter, wie beispielsweise die Sensitivit{\"a}t von Photodioden, wird eine flexible Beleuchtung ben{\"o}tigt, die in das bestehende Testsystem integriert werden kann. Die homogene Beleuchtung soll dabei mit verschiedenen Wellenl{\"a}ngen erfolgen, welche das relevante Spektrum repr{\"a}sentieren. Hauptziel ist die reproduzierbare Messung von Photostr{\"o}men, wodurch Prozessunterschiede in dielektrischen Schichten detektiert werden k{\"o}nnen, die mit rein elektrischen Messung nicht erfasst werden. Bei dem vorgestellten Konzept wird neben der Photodiode auch der umliegende Siliziumwafer beleuchtet. Dadurch entstehen laterale Ladungstr{\"a}ger, welche den Photostrom beeinflussen k{\"o}nnen. Zur Absch{\"a}tzung dieses Einflusses wurden Teststrukturen entwickelt und ausgewertet.},
  subject      = {Photodiode},
  language  = {de}
}