@mastersthesis{Kabardiadi2018,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Kabardiadi, Alexander},
  title     = {Theoretische und experimentelle Untersuchung zur Wellenfrontanalyse im Lithographieprozess},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  school    = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  pages     = {38 Seiten, 35 Abb., - Tab., 21 Lit.},
  year      = {2018},
  abstract  = {Die theoretische und praktische Untersuchung zur Wellenfronanalyse im Lithographiprozess. Es wurde ein Aberrationsmessverfahren bez{\"u}glich technischen Gegebenheiten der Belichtungsanlage analysiert und modifiziert. Anhand dieser Analyse und Modifikation wurde ein entsprechendes Messverfahren ausgearbeitet und analytisch ausgewertet.},
  subject      = {Wellenfront},
  language  = {de}
}