@mastersthesis{Bergmann2018,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Bergmann, Patrick},
  title     = {Untersuchung anwendungsspezifischer dichtekorrelierender Eigenschaften von reaktiv gesputterten SiO2-Schichten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  school    = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  pages     = {46 Seiten, 26 Abb., 2 Tab., 17 Lit.},
  year      = {2018},
  abstract  = {In den experimentellen Untersuchungen, welche Grundlage dieser Arbeit sind, wurden SiO2-Schichten mittels eines Doppelring-Magnetrons reaktiv gesputtert. Als variierter Parameter wurde die Bias-Leistung am Substrat gew{\"a}hlt. Diese beeinflusst die Energie des Teilchenbeschusses am Substrat. Im ersten Schritt der vorliegenden Untersuchungen wurde die Dichte der einzelnen Proben bestimmt. Hierzu kamen zum einen die W{\"a}gemethode und zum anderen die R{\"o}ntgenreflektometrie XRR zum Einsatz. Beide Messmethoden zeigen dieselbe Abh{\"a}ngigkeit der Schichtdichte von der Bias-Leistung beim reaktiven Sputterprozess. Die Messunsicherheiten von XRR und W{\"a}gemethode sind allerdings unterschiedlich. So l{\"a}sst sich sagen, dass mit zunehmender Schichtdicke die W{\"a}gemethode genauer wird, da der relative Fehlereinfluss abnimmt. Die XRR hingegen ist insbesondere bei Schichten, die starken, mechanischen Schichtspannungen unterliegen, mit zunehmender Schichtdicke ungenauer. Im Nachfolgenden wurden Schichteigenschaften untersucht, welche mit der Dichte korrelieren. Diese sind z. B. Eindringh{\"a}rte, Eindringmodul, mechanische Spannung, optische Brechzahl und evtl. Wassereinlagerungen. Es hat sich ergeben, dass die mechanischen und optischen Eigenschaften die gleiche Abh{\"a}ngigkeit von der Bias-Leistung aufweisen. Allerdings legen die Ergebnisse nahe, dass die Schichten kein einwandfreies st{\"o}chiometrisches Verh{\"a}ltnis von Si:O=1:2 besitzen. Dies bedarf allerdings weiteren Untersuchungen zur Kl{\"a}rung des Sachverhaltes. Des Weiteren wurde festgestellt, dass durch Anlegen einer Bias-Leistung eine anf{\"a}ngliche Wasserdurchl{\"a}ssigkeit bei 0 W verhindert werden kann, sodass bereits bei 60 W keine messbare Adsorption von Wasserdampf vorliegt.},
  subject      = {Magnetronsputtern},
  language  = {de}
}