@misc{Fleischmann2010,
  author    = {Fleischmann, Claudia},
  title     = {Ablation periodischer Mikrostrukturen mittels Femtosekunden-Pulsen unter Nutzung der Laserinterferenztechnik},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  pages     = {69 Seiten, 53 Abb., 4 Tab., 22 Lit.},
  year      = {2010},
  abstract  = {Thema dieser Diplomarbeit ist die Ablation periodischer Mikrostrukturen mittels Femtosekunden-Pulsen eines Ti:Saphir-Lasers unter Nutzung der Laserinterferenztechnik.Der Schwerpunkt liegt auf der gezielten {\"A}nderung der Strukturtopographie durch die definierte Beeinflussung von Anzahl, Phase sowie Lage der interferierenden Teilstrahlen. Flexibel gestaltbare Mikrostrukturen sind u.a. die Basis f{\"u}r die Herstellung photonischer Kristalle. Die Vorteile der Laserstrahlung, speziell ultrakurzer Pulse, in der Materialbearbeitung erm{\"o}glichen einen sch{\"a}digungsarmen, direkten Materialabtrag im Mikrometerbereich. Dies gestattet den Einsatz von Femtosekundenlasern f{\"u}r die Herstellung periodischer Mikro- und Nanostrukturen. Die Aufspaltung des einfallenden Laserstrahles in zwei oder mehrere Teilstrahlen wird durch optische Transmissionsgitter realisiert. {\"U}ber Anzahl und Typ der Beugungsgitter (Amplituden- bzw. Phasengitter) kann die Anzahl und Konfiguration der entstehenden Teilstrahlen beeinflusst werden. Die Phasenbeziehung der einzelnen Strahlen kann {\"u}ber Regelung des Abstands zwischen den optischen Gittern nahezu exakt kontrolliert werden. F{\"u}r die {\"U}berlagerung der Teilstrahlen, unter Ber{\"u}cksichtigung der Interferenzbedingung, werden diese {\"u}ber ein Schwarzschild-Reflexions- bzw. Linsenobjektiv auf der Probenoberfl{\"a}che zusammengef{\"u}hrt. Mit dieser Methode lassen sich verschiedenartige Mikrostrukturen erzeugen, deren Gr{\"o}ße und Topographie von den definierten Eigenschaften der interferierenden Teilstrahlen abh{\"a}ngig sind. Die Strukturtiefen und},
  language  = {de}
}