@misc{Lachmann2009,
  author    = {Lachmann, Johannes},
  title     = {Verbesserung der Messmittelf{\"a}higkeit eines Raster-Elektronen-Mikroskops zur Bestimmung von Strukturbreiten unter Verwendung einer statistischen Versuchsplanung und der Auswertung mittels ANOVA},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  pages     = {68 Seiten, 36 Abb., - Tab., 38 Lit.},
  year      = {2009},
  abstract  = {In dieser Arbeit wird gezeigt, dass sich die Messmittelf{\"a}higkeit eines Raster-Elektronen-Mikroskops, wie es f{\"u}r die Vermessung von Strukturen auf fotolithografischen Masken verwendet wird, durch eine statistische Versuchsplanung verbessern l{\"a}sst. Die Messmittelf{\"a}higkeit wird dabei in der dreifachen Standardabweichung einer Messreihe ausgedr{\"u}ck. Hierzu wurden vorab Untersuchungen zum Aufnehmen einer Messreihe durchgef{\"u}hrt, die eine objektivere Messreihenaufnahme bescheinigen, wenn die Maske zwischen jeder Messung aus- und wieder eingeschleust wird. In die statistische Versuchsplanung wurden acht Faktoren, sowohl der Bildaufnahme als auch der -verarbeitung, aufgenommen. Ein vollfaktorieller Versuchsplan zeigte eine Kr{\"u}mmung an, die durch eine Respons-Surface-Methode weiter beschrieben wurde. Es ergab sich eine Verbesserung der Messmittelf{\"a}higkeit von 0,6nm bei Standardeinstellungen auf unter 0,2nm.},
  subject      = {Versuchsplanung},
  language  = {de}
}