@misc{Kaspar2009,
  author    = {Kaspar, Tim},
  title     = {Herstellung und Charakterisierung aluminiumbasierter Isolationsschichten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  pages     = {96 Seiten, 45 Abb., 24 Tab., 35 Lit.},
  year      = {2009},
  abstract  = {Es erfolgte eine Untersuchung der M{\"o}glichkeit der Abscheidung von aluminiumbasierten Schichten an einer B- 30 Beschichtungsanlage. Die Abscheidung der Schichten erfolgte mittels Reaktiver Kathodenzerst{\"a}ubung. Arbeitsgas war hierbei Argon. Als Reaktivgas fungierte Stickstoff. Nach erfolgreicher Schichtabscheidung (AlN) erfolgte eine Charakterisierung der so erzeugten Schichten. Untersucht wurden diese mittels REM, EDX- und XPS- Analyse.},
  language  = {de}
}