@misc{Fell2009,
  author    = {Fell, Johann},
  title     = {Herstellung und Charakterisierung von CNT-verst{\"a}rkten Cu-Matrix-Kompositschichten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  pages     = {84 Seiten, 69 Abb., 7 Tab., 58 Lit.},
  year      = {2009},
  abstract  = {Die Arbeit befasst sich mit der Herstellung von elektrochemisch abgeschiedenen Cu-Schichten, die mit den senkrecht zur Substratoberfl{\"a}che ausgerichteten CNTs verst{\"a}rkt wurden. Die Herstellung der CNTs erfolgte unter Anwendung eines thermischen CCVD-Prozesses. Es wurde dabei der Einfluss von unterschiedlichen Unterlagen-, Katalysatormaterialen, der Art der Katalysatordeposition und Tr{\"a}gergase auf das CNT-Wachstum untersucht. Zus{\"a}tzlich wurden unterschiedliche Methoden zur CNT-Funktionalisierung getestet und die Ver{\"a}nderungen der einzelnen Functionalisierungsgruppengehalte mit Hilfe von XPS analysiert. Die Cu-Abscheidung erfolgte auf dei CNT-beschichtete Substrate. Die Analyse der Cu-Kompositschichten erfolgte mit Hilfe von REM, FIB und TEM.},
  subject      = {Kohlenstoff-Nanor{\"o}hre},
  language  = {de}
}