@misc{Staudte2000,
  author    = {Staudte, Ulrike},
  title     = {Durchf{\"u}hrung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  pages     = {84 Seiten, 32 Abb., 16 Tab., 7 Lit.},
  year      = {2000},
  abstract  = {Ziel der Diplomarbeit ist die Anpassung und Auswertung von Untersuchungen zur Defektoskopie von Zirkonoxid-Foliensubstraten mit dem Reflexionsverfahren. Es wird der Versuchsaufbau und die Durchf{\"u}hrung beschrieben. Weiterhin werden die gewonnenen Ergebnisse mit den Messungen des Autofokusverfahrens, des Streifenprojektionsverfahrens und dem Mirau-Interferometer verglichen. Der Vergleich zeigt die wesentlichen Vor- und Nachteile der einzelnen Meßverfahren bei der Detektion von Oberfl{\"a}chenfehlern auf Zirkonoxid-Folien. <!-- \#h:dissdiplOberfl{\"a}chenmeßtechnik.doc\# -->},
  subject      = {Reflexion <Physik>},
  language  = {de}
}